1)照明器
该部分包括光源、照明光学系统以及光阑等。
2)光栅副
该部分包含标尺光栅与指示光祖，或圆光栅与狭缝。它是计最侧试的基准器，是极其重要的核心部分。其功能是位移侧最的基准。
3)驭动器
该部分包括导轨副(导轨与滑块)、丝杆与电动机(或直线电动机);或者是主轴、轴套、轴承和电动机等。它是光姗副的支承体.其误差将直接影响侧里的准确与否。
·4)光电接收转换器
该部分由光阑(或光学滤波器)、接收光学系统和光电转换元件等构成。其功能是将由光枷副调制的光信息经光阑、光学旅波器后变成所需的光信息，再由光电元件转换成电信号，此电信号表征着随空间位健变化的机械位移量的大小。
5)电子处理器
该部分一般有前置放大电路、整形电路、译码电路、倍频电路、误差校正电路、存储电路以及显示电路等，简单地说，是由硬件电路和软件程序组成。这是被侧体的位移读出部分。
照明器、光栅副和接收转换器三个部分一起称为“光栅读数头”。