CS-5000CNC轮廓测量仪特点：

• 精度高测针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量

• X1和Z2的驱动速度分别是40mm/s和200mm/s可以高速定位，从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量的效率。

• 带有α轴的型号，可以通过电动旋转x1轴连续测量水平面和倾斜面。

• 通过USB与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。

• X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨率：6.25nm,Z1轴分辨率：4nm/8nm轮廓/形状测量，表面粗糙度的测量和批次测量

• Z1轴测器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。

• Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当仪器主题与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。

• 提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操作杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的显示状态。

技术参数

X1轴

测量范围：200mm

分辨率：0.00625um

检测方法：激光全息光栅尺

 驱动速度：40mm/s(最大CNC），0-40mm/s(操纵杆)

测量方向：向前/向后

直线度：2um/200mm,以X轴为水平方向上

指示精度（20º时）：±（0.3+0.02L）um,±（0.16+0.01L）um(CV-4000CNC）L=驱动长度（mm）

Z2轴

垂直移动：300mm

分辨率：0.05um

检测方法：反射型线性编码器

驱动速度：200mm/s(最大CNC)

Z1轴

检测范围：12mm(使用标准测针)，24mm(使用2倍长型测针)

测针方向：向上/向下

测力：30mN

Y轴

测量范围：200mm

分辨率：0.05um

能耗：500w(仅限主机)

工件最大承重:2okg