特点
• 精度高测针型CNC 表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状／轮廓的测量。
• X1 轴和Z2 轴的最大驱动速度分别为40mm/s 和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓／多工件测量的效率。
• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨率(X1 轴分辨率：6.25nm,Z1 轴分辨率：4nm/8nm) 的轮廓／形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。
• Z1 轴检测器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
• Z1 轴检测器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。
• 带有Y 轴工作台的型号，可沿Y 轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
• 提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。
• 通过USB 端口与数据处理／分析装置(选件) 进行信息交换。

技术参数:
X1 轴
测量范围: 100mm
分辨率: 0.00625μm
检测方法: 激光全息光栅尺
驱动速度: 最大40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)
测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形状／轮廓)
移动方向: 向前／向后
直线度: (0.05+0.0003L)μm
指示精度 (20° C): ±(0.16+0.001L)μm
L 为驱动长度(mm)
Z1 轴
测量范围: 12mm
分辨率: 0.001μm
测针上／下运作: 弧形运动
检测方法: 激光全息光栅尺
指示精度 (20° C): ±(0.07+I0.02HI)μm
H 为测量高度(mm)
测力: 4mN
跟踪角度: 向上60° 、 向下60°
(取决于表面粗糙度)
测针针尖: 半径: 5μm, 角度： 40°、钻石
(球型测针) (半径: 0.25mm, 蓝宝石)
测针方向: 向下
Z2 轴(立柱)
测量范围: 300mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 最大200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)
基座尺寸(W x D): 600 x 550mm
基座材料: 花岗岩
尺寸 (W x D x H): 600 x 570 x 992mm
重量: 190kg